在半導體領域，濾波器作為關鍵元件，長期被海外廠商壟斷。如今，中國企業(yè)正強勢突圍。其中，新聲半導體的國產(chǎn) BAW 濾波器成績斐然，年出貨量超 3 億顆，成為半導體行業(yè)焦點。而提供產(chǎn)能的，則是中國半導體領軍企業(yè)華潤微在南昌的代工線潤芯感知。

　　濾波器的重要性與 FBAR 技術發(fā)展

　　濾波器在通信設備中起著篩選特定頻率信號的關鍵作用。隨著通信技術向 5G、Wi-Fi 6/7 等方向發(fā)展，對濾波器性能提出了更高要求。FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator，薄膜體聲波諧振器)作為一種先進的濾波器技術，具有高功率耐受、小尺寸、低插入損耗、高帶外抑制和可用于超高頻等優(yōu)點，成為通信領域研究和商用開發(fā)的熱點。

　　現(xiàn)代 FBAR 主要有四種核心結構。最早大規(guī)模量產(chǎn)的是博通的 Swimming Pool+Air Frame 結構，通過在硅襯底中蝕刻空腔提升聲波共振效率和頻率選擇性，Air Frame 設計降低聲學損耗。太陽誘電的結構則是在襯底上面形成類似氣泡的空氣腔，原理與博通類似。2016 年出現(xiàn)的 XBAW，以碳化硅襯底上外延生長的單晶 AIN 為壓電薄膜，從而提高性能。2021 年，國產(chǎn)射頻新銳企業(yè)新聲半導體提出自主創(chuàng)新的 D-BAW(Double Side Processed Bulk Acoustic Wave Technology，雙面鍵合體聲波技術)結構，為如今的國產(chǎn)BAW濾波器量產(chǎn)出貨埋下伏筆。

　　D-BAW 結構的獨特優(yōu)勢

　　新聲半導體的 D-BAW 結構具有諸多顯著優(yōu)勢。它采用雙面光刻、雙面精細加工，能在上下兩面電極邊緣更靈活精準地加工形成各類 Frame 結構，高效抑制橫向聲波傳播。通過雙面鍵合形成空腔，實現(xiàn)結構懸空。該結構 MASK(光罩)層數(shù)更少，無需復雜補償結構，降低了成本。同時，它突破材料限制，可使用多種襯底晶圓和壓電材料。其 AlN 壓電層極平坦，濺射鍍膜質量更好，性能更優(yōu)，還具備更高的機電轉換效率。

　　潤芯感知作為南昌高新區(qū)參與投資的 MEMS 晶圓產(chǎn)線，核心運作團隊源自擁有近二十年智能傳感器制造經(jīng)驗的華潤微電子，起點頗高。此前國產(chǎn) BAW 濾波器受困于 “樣品可做，量產(chǎn)不可控”，而潤芯感知率先實現(xiàn)了 BAW 大規(guī)模產(chǎn)品出貨的突破。其生產(chǎn)的 BAW 由新聲半導體負責設計，雙方戰(zhàn)略合作打造業(yè)界領先的 D-BAW 濾波器，形成自主設計與本土制造緊密協(xié)同的 “新模式”。

　　出貨量領先，性能比肩國際

　　供應鏈消息顯示，潤芯感知產(chǎn)線過去一年出貨的新聲 D-BAW 濾波器超 3 億顆。這些產(chǎn)品已在主流品牌的手機和平板終端設備中穩(wěn)定服役，部分型號還應用于多款國內外高端旗艦手機。在國產(chǎn) BAW 濾波器出貨量排名中，新聲的 D-BAW 以顯著份額優(yōu)勢位列第一，出貨量規(guī)模遠超其他競爭對手。

　　在產(chǎn)品性能方面，潤芯感知與新聲協(xié)同開發(fā)的 D-BAW 濾波器已全面對標國際先進產(chǎn)品。其采用新聲首創(chuàng)的 SiRoof 封裝方案，即完整硅帽 + 干膜有機鍵合，大幅增強了產(chǎn)品的耐用性和穩(wěn)定性。并且，這些性能數(shù)據(jù)均來自潤芯感知南昌產(chǎn)線實際批量制造、經(jīng)過可靠性測試的量產(chǎn)品，標志著國產(chǎn) BAW 濾波器已進入 “性能可控、品質穩(wěn)定、客戶驗證” 的商業(yè)落地階段。

　　新聲半導體自 2021 年 3 月成立以來，專注于聲學濾波器和射頻前端模組的設計與銷售，擁有多種濾波器技術，可提供 6GHz 頻率以下全頻段的全系列產(chǎn)品。公司攻克了 TC-SAW 和 BAW 等高難度濾波器設計及工藝體系，形成自主知識產(chǎn)權和穩(wěn)定供應鏈體系。截至目前，已申請專利超過 500 項，授權發(fā)明專利超過 170 項，是國內唯一無專利侵權風險且大規(guī)模量產(chǎn) BAW 濾波器的廠商。

　　新聲半導體國產(chǎn) BAW 濾波器年出貨超 3 億顆，是中國半導體在細分領域的重大突破。它不僅打破了海外廠商的長期壟斷，更以高質量、高銷量的姿態(tài)在市場中站穩(wěn)腳跟。隨著技術的不斷創(chuàng)新和產(chǎn)能的持續(xù)提升，新聲半導體有望在全球半導體濾波器市場中占據(jù)更重要的地位，推動中國半導體產(chǎn)業(yè)邁向新高度。