荷蘭ASML公司是全球EUV光刻機(jī)的唯一供應(yīng)商，Intel、三星、臺積電等公司都要依賴它。中國的中芯國際去年也訂購了一臺EUV光刻機(jī)用于研究7nm及以下的先進(jìn)工藝，不過消息稱ASML已經(jīng)暫停對中國供應(yīng)EUV光刻機(jī)，背后又是美國從中作梗。

　　據(jù)外媒報道，ASML去年4月份收到了中國最大的晶圓代工廠中芯國際的訂單，訂購了一臺EUV光刻機(jī)，價值超過1.2億歐元，差不多是10億人民幣了，預(yù)計今年底交貨，2020年正式安裝。

　　國內(nèi)晶圓廠目前量產(chǎn)的最先進(jìn)工藝還是28nm，中芯國際的14nm工藝取得了突破，但是目前還沒大規(guī)模量產(chǎn)，還在客戶導(dǎo)入階段。

　　EUV光刻機(jī)主要用于7nm及以下的先進(jìn)工藝，中芯國際訂購EUV光刻機(jī)主要是研究開發(fā)，而且只有一臺，并不會用于大規(guī)模生產(chǎn)。

　　即便如此，報道稱ASML公司迫于美國的壓力也暫停交付中芯國際這臺EUV光刻機(jī)，因為他們不想讓美國感到不安，畢竟ASML有多達(dá)1/5的零件來自于美國工廠，其中光刻機(jī)核心的光源系統(tǒng)就是美國公司供應(yīng)的。

　　不過另一方面，ASML也不希望這件事讓中國公司及客戶感到不安，因為中國市場是全球半導(dǎo)體設(shè)備增長最快的市場，ASML公司去年有19%的銷售額都是來自于中國公司，是ASML重要客戶。